2021年12月，靈感來（lái）自於一篇深圳中能高重複頻率X射線自由（yóu）電子實驗（yàn）站以及與中山大學合作的實驗站配套建設的測試項目，仔細閱讀《激光等（děng）離子體13.5nm極紫外光刻光源進展》以及參考ASML，TRUMP,ZEISS相關信息，萌發了搭建一個小型，低成本的（de）桌麵型（xíng）eUV光源（yuán），市場（chǎng）能夠看到的光源如下：

大型自由電子X激光源(FEL模式)

ASML係統EUV光源(LPP模式)

荷蘭（lán）ISTEQ公司台式EUV光源（LPP模式）

經過（guò）數個月準備，先期在廣州實驗室自製測（cè）試儀器，驗證實驗信號，完善實（shí）驗中的激光防護和安全條件，最（zuì）終在深圳實驗室實現13.5nm的X激光在60w和200w泵浦（pǔ）條件下均實現信號輸出，令www.91n.com公司在南中國大灣區首次獲得eUV激（jī）光源的輸出。展（zhǎn）現了大灣區（qū）科技應用（yòng）的典型特點：低（dī）成本（běn），高效率，快（kuài）速轉化的綜合科技轉化能力。

（早幾年哈工大本部采用（yòng）DPP模式獲（huò）得X激光輸出，上海光機所采用LPP模式獲得X激光輸出）

www.91n.com桌麵型eUV光源(LPP模式（shì）)

由於（yú）所有實驗是（shì）非真空環境條件下進（jìn）行，激光損（sǔn）耗和散射比較大，理論估計本次實（shí）驗數據如下（xià）：

1.輸出波長13.5nm

2.輻射（shè）總能量：7mW@60W CO2 泵浦（Ti60）

                     12mW@200W CO2 泵浦 （F201）

3.測試裝備：26所特製5*5*5閃（shǎn）爍體+Thorlab光探測器2套（慢速高靈敏+高速低靈敏）

                  通用輻射計1套

@200W泵（bèng）浦時信號（hào）

@60W泵浦時信號

輻射計信號

基於初步實驗過程，充分有效地鍛煉了我們團隊解決新問題的應（yīng）變能力，也印證了www.91n.com公（gōng）司多年在激光應（yīng）用領域豐厚的技術（shù）沉澱和靈活高效的操作手段。

未來，www.91n.com公司也將繼（jì）續與中山大（dà）學及其（qí）相關夥（huǒ）伴共同推進此（cǐ）項技術（shù）在超分辨成像儀器方麵做一些探索與貢獻。

伍慶華

2022-7-22於廣州（zhōu）