Motion & Vibration Control
運動控製與振動控製

 

菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高(gāo)速I高精度I高穩定性運動控製產品

Feinixs的產品係列主要包含:線(xiàn)性位移、旋轉位移、垂直位移(yí)的運動控製產品,並提供配套(tào)的驅動控製器。

 

明立Meiritsu - 一(yī)家生產隔振台和光學麵包板的製造(zào)商

產品涵蓋光學平台、超大型平台、無磁平台、自由組合型(xíng)平台等等,主動除振平台技術在(zài)國際間(jiān)位居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬將,成為各大麵板廠家設備的必選(xuǎn)產品。已經在中國、韓國設(shè)立工廠,為(wéi)當地客戶提供定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認(rèn)證,為客戶提(tí)供優質、有保障的產品和服(fú)務。

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品(pǐn)

提供各種精密光機產品,包(bāo)括Microbench Cage係(xì)列、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支架和位移台,以及封閉(bì)的Tube-C係列、導軌係列和耐用的(de)X-95 Profile係列。

 

Feinixs的產品係列主要包(bāo)含:線性位移、旋轉位移(yí)、垂直位移的運動控製產品,並(bìng)提供配套的(de)驅動控製器(qì)。

 

  • • 電動平移台



    電動平移台涵蓋了範圍⼴泛的精密線性(xìng)定位平台, 用於(yú)實現精確平移運動(dòng)。

 

  • • 電動旋轉台



    電(diàn)動旋轉台用於精確控製旋轉角度和速度,用於進行精確的位置定位、測(cè)試、測量和加工等(děng)工(gōng)作

 

  • • 電(diàn)動(dòng)升(shēng)降台



    電動升降台為三維(wéi)掃描(miáo)提供(gòng)了Z軸位移,靈巧的設計讓升降台(tái)可以(yǐ)應用於(yú)空間受限的場景。

 

  • • 運動係統



    我們提供多軸的運(yùn)動控製係統,並確保係統精度。除了普通版本(běn)外,我們也提(tí)供不鏽鋼版本(běn)、真(zhēn)空版本。

 

  • • 控製驅動



    我們驅動控製覆蓋:伺服電(diàn)機、壓電驅動、步進電機。

 

 

到(dào)目前為止,明立(Meiritz)積累的專業知識和專業能(néng)力已經生產(chǎn)了600多種被動隔振器,。隨著超高(gāo)精度製造業需求的(de)不(bú)斷增長,如(rú)半導體,明立(Meiritz)也推出了主動型的隔振器,來(lái)解決製造或實(shí)驗過程中因振動帶來(lái)的問題。

產品涵蓋光學平台、超大型平(píng)台、無磁平台、自由組合型平台等等,主動隔振平台技術在國際(jì)間位居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬將,成為各大麵板廠家設備的必選產品。已經在中國、韓國設立工(gōng)廠,為當地客戶提供定製(zhì)化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優(yōu)質、有保障的產品(pǐn)和服務。

 

光學平台係統

 

  • • AYA 係列-采用蜂窩結構桌(zhuō)麵(miàn)的空氣彈簧式隔(gé)振裝置



    蜂窩桌(zhuō)麵空氣彈簧式隔振裝置,隔(gé)振性能升級,機構(gòu)多樣。
    Meiritsu Seiki 專有的平行擺(bǎi)動機構增強了(le)水平(píng)隔振性能。排除了垂直和水平各個方向(xiàng)的細微振動,滿足幹涉儀和全息術等光學實驗的需要。此外,各結構的性能也得到了進一步改進。 這(zhè)是一種高性能的隔振裝置,通過蜂窩(wō)麵包板改善了麵板的輕量化但保持了高剛性的特性。

    應用行(háng)業:
    • 光學和激光實驗

 

工作台型光學隔振平台

 

  • • ADZ-A 係列- 桌子型空氣彈簧隔振平台(tái)



    兼具性價比、隔(gé)振(zhèn)性(xìng)能和可操(cāo)作性的新型(xíng)係列。
    ADZ-A係列是暢銷的ADZ係列的高度升級版本。
    隔振性能(néng)進一步增強,工作舒(shū)適性大(dà)大提高(gāo),並增(zēng)加了(le)更大的安裝麵板尺寸(cùn)。此外,為了使安裝在隔振器上的設備具有更好的可操作性,有許多選項可供選擇。
    這些(xiē)因素共同創造了(le)一種高性(xìng)價比的隔振裝置,無論設備類型或使用場所如何,都可以使用。

    應用:


 

桌麵型隔振平台

 

  • • AVT係列- 桌麵型空氣彈簧隔振平台



    AVT係列是一款用來配套(tào)精密儀器的高性能台式隔振平台
    此(cǐ)款台式減振平台采用先進的空氣懸架式隔振器。所有隔振功(gōng)能都集成在一個緊湊的主機上。共有16 種型號來應對不同的精密機(jī)器的特征和隔振需求,且(qiě)能夠簡易(yì)地構(gòu)建出高性能的(de)隔振環境。

    典型應用:

  • • ME係列-桌麵型(xíng)主動隔振平台



    三維(六自由度)桌麵型主動隔振平台
    該平台可以控製三個(gè)維度(六個自由度)的振動,同時連續監測負載台的振動。通過內置的驅動器施加(jiā)反向位(wèi)的力,通過(guò)這種方(fāng)式實現振動控製。

 

  • • AET係列(liè)- 桌麵式鋼蜂窩(wō)空氣懸架隔振平台



    集成了高性能隔(gé)振係(xì)統的桌麵式鋼蜂窩表麵板空氣彈簧(huáng)式隔(gé)振光學平台
    隨著激(jī)光器本體和外圍設備的小型化以及光纖技術的改進,光學(xué)實驗通常不(bú)需要像過去那樣長的光路。Meiritsu Seiki一直在提供一係列(liè)許多(duō)桌麵(miàn)型隔振設備。AET係列(liè)將其與鋼蜂窩表麵板相結合,是小麵積(jī)光學實驗的理(lǐ)想隔振裝(zhuāng)置。

    應用(yòng):



 

隔振器

 

  • • MAPS 係列- 氣動控製的主動隔振係統



    六(liù)自由度主動控製為所有自由度(dù)的振動提供出色的隔振、阻尼和定位性能
    MAPS 係列是一種主動隔振裝置,它將(jiāng)所有必要的功(gōng)能組合成一個(gè)緊湊的裝置(zhì),因此可以很容易地集成到客戶的設備中。

    應用行業:
    • 半導體

 

  • • MRZ係列-主(zhǔ)動(dòng)式氣(qì)懸浮係統(tǒng)



    在MAPS係(xì)列的基礎(chǔ)上,我們開發了高性能、合理的主動氣動懸架係統MRZ係列!

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體工業

    應用:
    • FPD、半導體設備、電子顯微鏡(jìng)、UHV-SPM、測量儀器、超精密機等。

 

  • • AP大負載空氣彈簧式隔振器



    AP 係列產品是為(wéi)精密(mì)儀器量身定做,由低成本、最適合您精密(mì)儀器(qì)的隔振係統構成的。
    我們的隔振裝置,除了具有優秀的(de)性能外,更重視產品的靈活性(xìng)。當今有越來(lái)越(yuè)多的精(jīng)密儀器需要(yào)將最匹(pǐ)配的隔(gé)振裝置與精密儀器直接組裝,能夠滿足這類(lèi)客戶需求的隔振裝置(zhì)就是我們的 AP 係(xì)列。該係列產品不僅擁有優(yōu)越(yuè)的隔振性能,還具有強大的拓展性。我們的 AP係列產品可以為您的精密儀器提供更為理想的隔振環境。

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體

    應用:

 

明立的(de)隔振產品廣泛應用(yòng)於下(xià)列領域:

  • • 顯微鏡係統(tǒng)
  • • 光學和激光實驗
  • • 測量和稱重儀器
  • • 半導體製造(zào)和精密加工(gōng)
  • • 納米表麵分析
  • • 地震和防災

 

埃賽力達(dá)的LINOS®光機(jī)器件使用高精密(mì)度的工(gōng)程技術和高級的材料(liào),可確保在科學研究(jiū)和光子創新中,提供出色的穩定性、可調節性和高性能。我們可以提供從Qioptiq®獲得的各種精密光機產品,包括Microbench Cage係(xì)列(liè)、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支架和位移(yí)台,以及封閉的Tube-C係列、導軌係列和耐用的X-95 Profile係列。

 

LINOS麵包板和安裝板

埃賽力達的LINOS®麵(miàn)包板和安裝板係列(liè)可以作為所有光學實驗裝置(zhì)的開端。

 

LINOS可變光圈

埃賽力達是Qioptiq®的一員,可提(tí)供多種精密的LINOS®光圈(quān)、針孔和狹縫結構,可用於實驗裝置中嚴格的光控製。

 

LINOS Microbench光機工作台籠(lóng)式係統

Microbench屬(shǔ)於原先的籠式光機係列,小巧緊湊,可精確居中,易於集(jí)成和擴展。LINOS® Microbench擁有全麵的(de)光學和機械部件,是許多光機裝置不可缺少的一部分。經(jīng)過優(yōu)化,可搭(dā)配使用(yòng)從(cóng)18到31.5毫米直徑的(de)光學器件。

 

LINOS鏡座

鏡座是光學組件中不可或缺(quē)的元件。埃賽力達提供的各種底座包括(kuò)Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X係(xì)列鏡座,可滿足科學領域和工業領域的廣泛需求。

 

LINOS底座和立柱

埃賽(sài)力達有多種LINOS®底座、立柱和支架(jià),包括用於矩形和圓柱形元件的支(zhī)架,以及用於已安裝和未(wèi)安裝的(de)光學器件或棱鏡的(de)支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench係統是一種精密的構(gòu)建係列,其光(guāng)束直徑最大為½",尺寸比LINOS Microbench係統更加緊湊(còu)。

 

LINOS調整架

埃賽力達提供(gòng)種類豐(fēng)富的精密LINOS®調整(zhěng)架,包括手動調節、線性調(diào)節、X-Y位移(yí)台、旋轉位移台和測角儀,測角儀有多種調節範圍(wéi)和負(fù)載能力。

 

LINOS導軌(guǐ)係統

LINOS®導軌係統可用於構建光學工(gōng)作(zuò)台和光束轉向係統。堅(jiān)固的鋁合金上的軸承表(biǎo)麵經過精(jīng)密銑削,並進行了耐磨的黑色或無色陽極氧化處理,使這些導軌係統成為(wéi)線性、平麵甚(shèn)至(zhì)3維(wéi)結構的理想基座。

 

LINOS管(guǎn)式係統

埃賽力達還提供了封閉的模塊化LINOS管式係統,用(yòng)於要求較(jiào)高的不透光、無塵(chén)的實驗裝置,這是對我們(men)的LINOS® Microbench和Nanobench開(kāi)方式籠式光機係統的補充。

 

菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速I高精度(dù)I高穩定性運(yùn)動控(kòng)製產品

Feinixs的產品係列主要包含:線性位移、旋轉位移、垂直位移的運動控製產品(pǐn),並提供配(pèi)套的驅動控製器(qì)。

 

明(míng)立Meiritsu - 一家(jiā)生產隔振台和光學麵(miàn)包板(bǎn)的製造商

產品涵蓋光學平台(tái)、超大型平台、無磁平台、自由組合型平台等等,主動除振平台技術在國際間位居(jū)前列,在(zài)FPD領域集(jí)中的韓國,過關斬將,成為各(gè)大麵板廠家設備的必選(xuǎn)產品。已經在中國、韓(hán)國設立工(gōng)廠,為當地客戶(hù)提供定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優質、有保障的產品和服(fú)務(wù)。

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品

提供各(gè)種精密光機產品,包括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列、鏡(jìng)座、立柱、支架和位(wèi)移台,以及封閉的Tube-C係列、導(dǎo)軌係列和耐用的X-95 Profile係列。

 

Feinixs的產品係列主要包含:線性位(wèi)移、旋轉位移(yí)、垂直位移的運動控製產品,並(bìng)提供配套的驅動控製器。

 

  • • 電動平移台



    電動平(píng)移台涵蓋了範圍⼴泛的精密線性定位平台(tái), 用於實現精確平移(yí)運動。

 

  • • 電動旋轉台



    電(diàn)動旋轉台用於精確控製旋轉角度(dù)和速(sù)度,用(yòng)於進(jìn)行精確的位置定位、測試、測量(liàng)和加工等工作

 

  • • 電動升降台



    電動升降台為三(sān)維掃描提供了(le)Z軸位移,靈巧的設計讓(ràng)升(shēng)降台可以應(yīng)用於空間受(shòu)限(xiàn)的場(chǎng)景。

 

  • • 運動係統



    我們提供多軸的運動控製係(xì)統,並確(què)保係統(tǒng)精度。除了普通版本外,我們也提(tí)供(gòng)不鏽鋼版本、真空版本。

 

  • • 控製驅動



    我們驅動控製覆蓋(gài):伺服電機、壓電驅動、步進電機。

 

 

到目前為止,明立(Meiritz)積累的專業知識和專業能力已經生產了(le)600多種被動隔振器,。隨著超高精度製造業(yè)需(xū)求的(de)不斷增長,如半導體,明立(lì)(Meiritz)也(yě)推出了主動型的隔振器,來(lái)解決(jué)製造或實驗(yàn)過程中因振動帶來的問題。

產品涵蓋光學平台、超大型平台、無磁平台、自由組合型平台等等,主動隔振平台技術在國際間位居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬將,成為各大麵(miàn)板廠家設備的必選產品(pǐn)。已經在(zài)中國、韓國設立工廠,為當地客(kè)戶提供定(dìng)製化(huà)服務。公(gōng)司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優(yōu)質、有保障的產品和服務。

 

光(guāng)學平(píng)台係(xì)統

 

  • • AYA 係列-采用蜂窩結構桌麵的(de)空氣彈簧式隔振裝(zhuāng)置



    蜂窩桌麵空氣彈簧式隔振裝置(zhì),隔振性能升級,機構多樣。
    Meiritsu Seiki 專有的平行(háng)擺動機構增強了水平隔振性(xìng)能。排除了垂直和水平各個方向的細微振(zhèn)動,滿足幹(gàn)涉儀和全息術等(děng)光學實驗的需要。此外,各結構(gòu)的性能也得到了進一步改進。 這是一種高性能的隔振裝置,通過蜂窩麵包板改(gǎi)善了麵板的輕量化(huà)但保持了高(gāo)剛性的特性。

    應(yīng)用行業:
    • 光學和激光實驗

 

工作台型光學隔振平台

 

  • • ADZ-A 係列(liè)- 桌子型空氣彈簧隔振平台



    兼具性價比、隔(gé)振性能和可操作性的新型係列(liè)。
    ADZ-A係列是暢銷的ADZ係列的高度升級版本。
    隔振性能進一步增強,工作舒適性大大提高,並增加了更大的安(ān)裝麵板尺(chǐ)寸。此外,為了使安裝在隔振器上的設備具有更好的可操(cāo)作性,有許多選項可供(gòng)選擇。
    這些因素共同創造了一種高性價比的(de)隔振(zhèn)裝置(zhì),無論設備類型(xíng)或使用(yòng)場所如(rú)何(hé),都可以使用。

    應用:


 

桌麵型隔振平台

 

  • • AVT係列- 桌麵型空氣彈簧隔振平台



    AVT係列(liè)是一(yī)款用來配套精密儀器的高性能台式隔振平台
    此款台式減振平台(tái)采用先進(jìn)的空氣懸架式隔振器。所有隔振功能都集(jí)成在一個緊湊的主機上。共有16 種型號來應對不同的精密機器的特征和隔振需求,且能夠簡(jiǎn)易地構建出高(gāo)性能的隔振環境。

    典型應用:

  • • ME係列-桌(zhuō)麵型主動隔(gé)振平(píng)台



    三維(六自(zì)由度)桌麵型主動隔振平台
    該平台可以控製三個維度(六個自由度)的振(zhèn)動,同(tóng)時連(lián)續監測(cè)負載台的(de)振動(dòng)。通過內置的驅動器施加反向位的力,通過這種方式實現振動控製。

 

  • • AET係列- 桌麵式鋼蜂窩空氣懸架隔振平台



    集成了高性能隔振係(xì)統的桌(zhuō)麵式鋼蜂窩表麵板(bǎn)空氣彈簧式隔振光學平台
    隨著激(jī)光(guāng)器本體(tǐ)和外(wài)圍設備的小型化以及光纖技術的改進,光學實驗通常不需要像過去那樣長的光(guāng)路。Meiritsu Seiki一直在提供一係列許(xǔ)多桌麵型隔振設(shè)備。AET係列將其與鋼蜂窩表麵板相結合,是小麵積光(guāng)學實驗的理想隔振裝置。

    應用(yòng):



 

隔振器

 

  • • MAPS 係列- 氣動控製的主動隔振(zhèn)係統



    六(liù)自由度(dù)主動控製為所有自由度的振動提供出色的隔振、阻尼和(hé)定位性能
    MAPS 係列是一種主動隔振裝置,它將所有必(bì)要的功能組合(hé)成一個緊湊的裝置,因此可以很容易地集成到客戶的設備中。

    應用(yòng)行業:
    • 半(bàn)導體(tǐ)

 

  • • MRZ係列-主動式氣懸浮(fú)係統(tǒng)



    在MAPS係(xì)列的基礎上,我們開發了高性能、合理的主(zhǔ)動氣動懸架係統(tǒng)MRZ係列!

    應(yīng)用行業:
    • 測量
    • 半導體工(gōng)業

    應用:
    • FPD、半導(dǎo)體(tǐ)設備(bèi)、電子(zǐ)顯(xiǎn)微鏡、UHV-SPM、測(cè)量儀器(qì)、超精密機等(děng)。

 

  • • AP大負載空氣彈簧式隔振器



    AP 係列產品(pǐn)是為精密儀器量身定做,由低成(chéng)本、最適合您精(jīng)密儀器的隔振係統構成的。
    我們的隔振裝置,除了具有優秀的性能外,更重視產品(pǐn)的靈活(huó)性。當今有越來越多(duō)的精密儀器需要將最匹配的隔振裝置與精密儀(yí)器直接組裝,能夠(gòu)滿足這類客戶(hù)需求的隔振裝置就是我們的 AP 係列。該係列(liè)產品不僅擁有優越的隔振性能,還(hái)具有強(qiáng)大的拓展性。我們的 AP係列產(chǎn)品可以為您的精密儀器提供更為理想的隔振環境。

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體

    應用:

 

明立的隔振產品廣泛應用於(yú)下列領域:

  • • 顯微鏡係統(tǒng)
  • • 光學和激光實驗
  • • 測(cè)量和(hé)稱(chēng)重儀器
  • • 半導體製造和精密加工
  • • 納米表麵分析
  • • 地震和(hé)防災

 

埃賽力達的LINOS®光(guāng)機器件使用高精密度的工程技術(shù)和高級(jí)的材料,可確保在科(kē)學研究和光子創新中,提供出色的穩定性、可調節性和高性能。我們可以提供從Qioptiq®獲得的各種精密光機產品,包括Microbench Cage係列(liè)、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支架和位移(yí)台,以及封閉的Tube-C係列、導軌係列和耐用的X-95 Profile係列。

 

LINOS麵包板和安裝板

埃賽力達的LINOS®麵包板和安裝板係列可以作為所有光學實(shí)驗裝(zhuāng)置的開端。

 

LINOS可變光圈

埃賽力達是Qioptiq®的一(yī)員,可提供多種精密的LINOS®光圈、針孔和狹縫結構,可用於實驗裝置中嚴格的光控製。

 

LINOS Microbench光機工作台籠式係統

Microbench屬於原先的籠式光機係列,小巧緊湊,可精確居中,易於集(jí)成和(hé)擴展。LINOS® Microbench擁有全麵的(de)光學和(hé)機械部件,是許多光機裝置不可缺少的(de)一部分。經(jīng)過優化,可搭配使用從18到31.5毫米直徑(jìng)的光學器件。

 

LINOS鏡座

鏡座(zuò)是光學組件中不可或缺的元件。埃賽力達(dá)提供的各種底座包括Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X係列鏡座,可滿足科學領域和工業領(lǐng)域的廣泛需求。

 

LINOS底(dǐ)座和(hé)立柱

埃賽力(lì)達有多種LINOS®底座、立柱和支架,包括用於矩形(xíng)和圓柱形元件的支架,以及用於已安裝和(hé)未安裝的(de)光學器(qì)件(jiàn)或棱鏡的支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench係統是一(yī)種精密的構建係列,其光束直徑(jìng)最大為½",尺寸比LINOS Microbench係統更加(jiā)緊湊。

 

LINOS調整架

埃賽力達提供種類豐富的精密LINOS®調整架,包括手動調節、線性調節、X-Y位移台、旋轉(zhuǎn)位移台和測角儀,測角儀有多種調節範圍和負載能力。

 

LINOS導軌係統

LINOS®導軌係統可用於構建光學工作台和光束轉向係統。堅(jiān)固的鋁合(hé)金上的軸承表麵經過精密銑削,並進行了耐磨的黑色或無(wú)色陽極氧化(huà)處理,使這些導軌係統成為線性、平麵甚至3維結構的理想基座。

 

LINOS管式係(xì)統

埃賽力達還提供了封閉的模塊化LINOS管式係統,用於要求較高的不透(tòu)光、無(wú)塵的實驗裝置,這是對我們的LINOS® Microbench和Nanobench開方式籠式光機係統的補(bǔ)充。

概覽 菲克科(kē)技 Feinixs - 提供(gòng)用於精密定位(wèi)的高速、高精度、高穩定性運動控製產品(pǐn) 明立Meiritsu - 一家(jiā)生產隔振台和光學(xué)麵包板的(de)製造商 EXCELITAS - LINOS - 精(jīng)密光機產品
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