2021年12月（yuè），靈（líng）感來自於一篇深（shēn）圳中能高（gāo）重（chóng）複頻率X射線自由電（diàn）子實驗站以及與中山大學合作的實驗站配套建設的測試項（xiàng）目，仔（zǎi）細閱讀（dú）《激光等離子體13.5nm極紫外光刻光源進展（zhǎn）》以及參考ASML，TRUMP,ZEISS相（xiàng）關（guān）信息，萌發（fā）了搭建一（yī）個小型，低（dī）成本的桌麵型eUV光源，市場能夠看到的光源如下：

大（dà）型自由電子X激光源(FEL模式)

ASML係統EUV光源（yuán）(LPP模式)

荷蘭ISTEQ公司臺式EUV光源（LPP模式）

經過數個（gè）月準備，先期在廣州（zhōu）實（shí）驗室（shì）自製（zhì）測試儀器，驗證實（shí）驗信號，完善實驗中的激光防護和（hé）安全條件（jiàn），最終在深圳實（shí）驗室實現13.5nm的X激光在60w和200w泵浦條件下均實現信號輸出，令科（kē）藝公司在南中（zhōng）國大灣（wān）區首（shǒu）次獲得eUV激光源的輸出。展現了大灣區科技（jì）應用的典（diǎn）型特點：低成本，高效率，快速（sù）轉化的綜合科（kē）技轉化能（néng）力。

（早幾年哈工大本部採用DPP模式獲得X激光輸出，上海（hǎi）光機所採用LPP模式獲得X激光輸出）

www.91n.com桌麵（miàn）型eUV光源(LPP模式)

由於所有實驗是（shì）非真空環境條件下進行，激光損耗和散射比（bǐ）較大，理論估計（jì）本次實驗數據（jù）如下：

1.輸（shū）出波長13.5nm

2.輻射總能量（liàng）：7mW@60W CO2 泵浦（Ti60）

                     12mW@200W CO2 泵（bèng）浦 （F201）

3.測試裝備：26所特製5*5*5閃爍體（tǐ）+Thorlab光探測器2套（慢速高靈敏+高速低靈敏）

                  通用輻射計1套

@200W泵浦時信號

@60W泵浦時信號（hào）

輻（fú）射計信號（hào）

基於初步實驗（yàn）過程，充分有效地鍛鍊了（le）我們團隊解決新問題的應變能力，也印證了www.91n.com公司多年在激光應用領域豐厚的（de）技術（shù）沉澱和靈活高效的操作手（shǒu）段（duàn）。

未來，www.91n.com公（gōng）司也將繼續與中山大學（xué）及其相（xiàng）關夥伴共同推進此（cǐ）項技術（shù）在超分辨成像儀器方麵做一些探索與（yǔ）貢獻。

伍慶華

2022-7-22於廣州