2021年12月，靈感來自於一篇深圳中能高重複頻率X射線自由電（diàn）子實驗站以（yǐ）及與中山大（dà）學合作的實驗站配套建設的（de）測（cè）試項目，仔細閱讀《激光等離子體13.5nm極紫外光刻光源進展》以及參（cān）考ASML，TRUMP,ZEISS相關信息，萌發（fā）了搭建一個小型，低（dī）成本的桌麵型eUV光源（yuán），市場能夠看到的光源如下：

大型自由（yóu）電子X激光（guāng）源(FEL模式)

ASML係統（tǒng）EUV光源(LPP模式)

荷蘭ISTEQ公司台式（shì）EUV光源（LPP模式）

經過數個（gè）月準備，先期在廣州實驗（yàn）室自製測試儀（yí）器，驗證（zhèng）實驗信號，完善實驗中的激光防護和安全條件，最終在深圳實驗室實現13.5nm的X激光（guāng）在60w和200w泵浦條件下均實（shí）現信號輸出，令www.91n.com公司在（zài）南中國大灣區首次獲得eUV激光源的輸出（chū）。展現（xiàn）了大灣（wān）區科技應用的典型特點：低成本，高效率，快速轉化的綜合科技轉化（huà）能力。

（早幾（jǐ）年哈工大本部（bù）采用DPP模式獲得X激光輸出，上海光機（jī）所采用LPP模式獲得X激光輸出）

科（kē）藝桌麵型eUV光（guāng）源(LPP模式)

由於所有實驗（yàn）是非真（zhēn）空環境條件下進行，激光損耗（hào）和散射（shè）比較大，理論估計（jì）本次實驗數據如下：

1.輸出波長13.5nm

2.輻射（shè）總能量：7mW@60W CO2 泵浦（Ti60）

                     12mW@200W CO2 泵浦 （F201）

3.測試裝備（bèi）：26所（suǒ）特（tè）製5*5*5閃（shǎn）爍體+Thorlab光探測器2套（慢速高靈敏+高速（sù）低靈敏）

                  通用輻射計1套（tào）

@200W泵浦時（shí）信號

@60W泵浦時信號

輻射計信號

基於初步實驗過程，充分有（yǒu）效地鍛煉（liàn）了我們團隊（duì）解決（jué）新問題的應變能力，也印證了www.91n.com公（gōng）司多年在激光應用領（lǐng）域豐厚的技術沉澱和靈（líng）活高效的操作手（shǒu）段。

未來，www.91n.com公司也將（jiāng）繼續與中山大學及其相關夥（huǒ）伴共同推進此項技術在超分辨成像儀器方麵做一些探索與貢獻。

伍（wǔ）慶華

2022-7-22於廣州